真空泵我們很多行業(yè)都在使用，它的類型也有很多種，能適應(yīng)多種環(huán)境、多種場合、多種行業(yè)進(jìn)行使用。設(shè)備本身也是優(yōu)點(diǎn)眾多，很多人不了解它具體的特點(diǎn)，其實(shí)一般歸納起來有以下四點(diǎn)：

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。

真空泵廠家的真空泵立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

真空泵臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

真空泵建立全無油的超高真空系統(tǒng)，可以采用濺射離子泵和低溫吸附泵組成的系統(tǒng)。這種系統(tǒng)可以獲得10-3～10-9Pa的清潔真空，主要?dú)堄鄽怏w是H2。但這種配置由于吸附泵的排氣量有限，起動(dòng)不方便，不適用于抽除氣體量大和頻繁起動(dòng)的場合。如果用機(jī)械泵串聯(lián)擋油吸附阱代替吸附泵，可以克服吸附泵排氣量小的缺點(diǎn)，但代價(jià)是喪失了全無油的優(yōu)點(diǎn)。濺射離子泵系統(tǒng)的缺點(diǎn)是對(duì)惰性氣體的抽速很小，不適用于抽除以惰性氣體為主的負(fù)載氣體，另外其價(jià)格也較高?！　?/p>