循環(huán)水的水質(zhì)和運行溫度超過一定指標是造成真空泵結垢的主要原因。水質(zhì)指標中，尤以水的硬度影響更大。為此，必須盡可能降低水的硬度，控制循環(huán)水的工作溫度，才能解決真空泵結垢的問題。

    分析循環(huán)水在真空泵中的運行過程，與低壓熱水鍋爐中鍋水運行過程極其相似。因此，按照熱水鍋爐水質(zhì)標準來管理真空泵水質(zhì)，既可防止真空泵結垢又可防止真空泵腐蝕。

    水垢由于負溶解度溫度系數(shù)的鹽性物質(zhì)在循環(huán)水水溫的增高溶解度降低，析出沉淀而生成。真空泵中含有硬度成分的循環(huán)水進入，并且水環(huán)由于泵體的旋轉(zhuǎn)做工發(fā)熱，水垢由溶劑在水中的重碳酸鹽分解出難溶于水的沉淀而生成。

    循環(huán)水中原來溶解度較大的鹽類，在真空泵運行過程中，和其它鹽類相互反應生成難溶物質(zhì)形成沉淀結成水垢。由于循環(huán)水不斷做功發(fā)熱，不可避免地要產(chǎn)生蒸發(fā)和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增大，達到飽和時析出沉淀形成水垢。

 　 正常的供水量受到影響時，就需要減小過水斷面、增加水流阻力、使熱交換的效率降低，導致鹽垢生成的速度加快，這就是污垢的危害所在。嚴重時會造成垢下腐蝕，真空泵的聲音和效率甚至是葉輪事故停機等都會受到影響。對于污垢的來源，要在實際的工作中認真的研究。

    真空泵循環(huán)水系統(tǒng)大都是敞開式循環(huán)系統(tǒng)，回水率比較高。在因資金等原因不采用離子交換設備進行水處理的情況下，一般利用一個軟化水池加一個高位水池對真空泵進行供水。